TRI-HEX系列并聯(lián)運動平臺 

HEX-S5.10.60-XXX系列六自由位移臺

特點（國內(nèi)自主研發(fā)機械組裝，超高機械精度）

· 絲杠傳動，步驅(qū)電機，TRI-POD結(jié)構(gòu)調(diào)整Z軸及θXθY軸，θX軸360度旋轉(zhuǎn)。

· XY軸滿足高精度，大行程

· 連續(xù)運動平滑，工業(yè)級別使用壽命

· 性價比高，國內(nèi)生產(chǎn)

· 適用于調(diào)平機構(gòu)，半導體晶圓檢測

技術(shù)指標

PS:

1、以上所有精度都為廠家標準控制器在實驗室環(huán)境中理想條件測試所得

2、接受特殊型號及尺寸定制