高精度大理石XY結(jié)構(gòu)直線電機(jī)平臺(tái)

GLMT-XY  系列（超高精度直線電機(jī)平臺(tái)）

GLMT-XY  系列（超高精度直線電機(jī)平臺(tái)）

特點(diǎn)（大理石底座，超高平面度，超高精度）

· 直線電機(jī)雙驅(qū)，250*250mm或360*360mm行程，大理石底座固定，非常平穩(wěn)定

· 高平面度，高精度

· 連續(xù)運(yùn)動(dòng)平滑，工業(yè)級(jí)別使用壽命

· 性價(jià)比高，國內(nèi)生產(chǎn)，使用ACS控制系列    

· 適用于半導(dǎo)體加工，晶圓檢測等光學(xué)設(shè)備                                      

技術(shù)指標(biāo)